تكوين أفلام رقيقة عازلة متعددة الطبقات ذات سماحية عالية باستخدام التسخين بواسطة الأشعة البنفسجية عميقة المدى

FABRICATION OF MULTILAYER HIGH- DIELECTRIC THIN FILMS USING DEEP ULTRAVIOLET ANNEALING APPROACH